Nanostructural characterization of TiN-Cu films using EXAFS spectroscopy

Φόρτωση...
Μικρογραφία εικόνας

Ημερομηνία

Συγγραφείς

Pinakidou, F.
Paloura, E. C.
Matenoglou, G. M.
Patsalas, P.

Τίτλος Εφημερίδας

Περιοδικό ISSN

Τίτλος τόμου

Εκδότης

Elsevier

Περίληψη

Τύπος

Είδος δημοσίευσης σε συνέδριο

Είδος περιοδικού

peer reviewed

Είδος εκπαιδευτικού υλικού

Όνομα συνεδρίου

Όνομα περιοδικού

Surface & Coatings Technology

Όνομα βιβλίου

Σειρά βιβλίου

Έκδοση βιβλίου

Συμπληρωματικός/δευτερεύων τίτλος

Περιγραφή

We report on the modification of the local coordination of Cu in TiN-Cu films, as a function of the growth conditions. The films were deposited on Si (100) by pulsed laser deposition using either an intermetallic TiCu target or elemental Ti and Cu targets. During growth the partial nitrogen pressure (p(N(2))) took values in the range 0-150.10(-3) mbar. The bonding environment of Cu is identified using Extended X-Ray Absorption Fine Structure Spectroscopy (EXAFS) measurements at the Cu-K-edge. It is disclosed that in the films grown under p(N(2))<150.10(-3) mbar, Ti partially substitutes Cu in the fcc Cu phase. However, both the Cu-Ti bondlength and the coordination of Cu in the 1st nearest neighbor shell change as a result of the different growth conditions. More specifically, in the films grown in N(2) ambient, the degree of incorporation of Ti in fcc Cu sites decreases as the p(N(2)) increases. When growth occurs from elemental targets under p(N(2)) = 150.10(-3) mbar, only fcc Cu is detected. The changes in the coordination of Cu as a function of the p(N(2)) are attributed to the formation of crystalline TiN. Finally, the Cu-Cu bondlength is equal to the respective bondlength in the Cu-foil, independent of the growth conditions while, on the contrary, the Cu-Ti bondlength depends on p(N(2)). (C) 2009 Elsevier B.V. All rights reserved.

Περιγραφή

Λέξεις-κλειδιά

exafs, tin coatings, tin-cu nanocomposite films, superhard, coatings

Θεματική κατηγορία

Παραπομπή

Σύνδεσμος

<Go to ISI>://000275692100014
http://ac.els-cdn.com/S0257897209008901/1-s2.0-S0257897209008901-main.pdf?_tid=8af380548754b40b862466d5f30b25eb&acdnat=1339756014_994cc2eb6140d1f192dcf00f64d2090f

Γλώσσα

en

Εκδίδον τμήμα/τομέας

Όνομα επιβλέποντος

Εξεταστική επιτροπή

Γενική Περιγραφή / Σχόλια

Ίδρυμα και Σχολή/Τμήμα του υποβάλλοντος

Πανεπιστήμιο Ιωαννίνων. Σχολή Θετικών Επιστημών. Τμήμα Μηχανικών Επιστήμης Υλικών

Πίνακας περιεχομένων

Χορηγός

Βιβλιογραφική αναφορά

Ονόματα συντελεστών

Αριθμός σελίδων

Λεπτομέρειες μαθήματος

item.page.endorsement

item.page.review

item.page.supplemented

item.page.referenced