Texture and microstructure evolution in single-phase TixTa1-xN alloys of rocksalt structure
Φόρτωση...
Ημερομηνία
Συγγραφείς
Koutsokeras, L. E.
Abadias, G.
Patsalas, P.
Τίτλος Εφημερίδας
Περιοδικό ISSN
Τίτλος τόμου
Εκδότης
American Institute of Physics
Περίληψη
Τύπος
Είδος δημοσίευσης σε συνέδριο
Είδος περιοδικού
peer reviewed
Είδος εκπαιδευτικού υλικού
Όνομα συνεδρίου
Όνομα περιοδικού
Journal of Applied Physics
Όνομα βιβλίου
Σειρά βιβλίου
Έκδοση βιβλίου
Συμπληρωματικός/δευτερεύων τίτλος
Περιγραφή
The mechanisms controlling the structural and morphological features (texture and microstructure) of ternary transition metal nitride thin films of the TixTa1-xN system, grown by various physical vapor deposition techniques, are reported. Films deposited by pulsed laser deposition, dual cathode magnetron sputtering, and dual ion beam sputtering have been investigated by means of x-ray diffraction in various geometries and scanning electron microscopy. We studied the effects of composition, energetic, and kinetics in the evolution of the microstructure and texture of the films. We obtain films with single and mixed texture as well as films with columnar "zone-T" and globular type morphology. The results have shown that the texture evolution of ternary transition metal nitrides as well as the microstructural features of such films can be well understood in the framework of the kinetic mechanisms proposed for their binary counterparts, thus giving these mechanisms a global application. (C) 2011 American Institute of Physics. [doi: 10.1063/1.3622585]
Περιγραφή
Λέξεις-κλειδιά
titanium nitride films, preferred orientation, thin-films, tin films, initial growth, stress, energy, layers, deposition, coatings
Θεματική κατηγορία
Παραπομπή
Σύνδεσμος
<Go to ISI>://000294484300055
http://link.aip.org/getpdf/servlet/GetPDFServlet?filetype=pdf&id=JAPIAU000110000004043535000001
http://link.aip.org/getpdf/servlet/GetPDFServlet?filetype=pdf&id=JAPIAU000110000004043535000001
Γλώσσα
en
Εκδίδον τμήμα/τομέας
Όνομα επιβλέποντος
Εξεταστική επιτροπή
Γενική Περιγραφή / Σχόλια
Ίδρυμα και Σχολή/Τμήμα του υποβάλλοντος
Πανεπιστήμιο Ιωαννίνων. Σχολή Θετικών Επιστημών. Τμήμα Μηχανικών Επιστήμης Υλικών