Structure and electronic properties of conducting, ternary Ti(x)Ta(1-x)N films

Φόρτωση...
Μικρογραφία εικόνας

Ημερομηνία

Συγγραφείς

Matenoglou, G. M.
Lekka, C. E.
Koutsokeras, L. E.
Karras, G.
Kosmidis, C.
Evangelakis, G. A.
Patsalas, P.

Τίτλος Εφημερίδας

Περιοδικό ISSN

Τίτλος τόμου

Εκδότης

Περίληψη

Τύπος

Είδος δημοσίευσης σε συνέδριο

Είδος περιοδικού

peer reviewed

Είδος εκπαιδευτικού υλικού

Όνομα συνεδρίου

Όνομα περιοδικού

Journal of Applied Physics

Όνομα βιβλίου

Σειρά βιβλίου

Έκδοση βιβλίου

Συμπληρωματικός/δευτερεύων τίτλος

Περιγραφή

We report on the electronic structure and optical properties of conducting ternary transition metal nitrides consisting of metals of different groups of the periodic table of elements. For the study of the bonding, electronic structure, and optical properties of conducting Ti(x)Ta(1-x)N film growth, optical spectroscopy and ab initio calculations were used. Despite the different valence electron configuration of the constituent elements, Ta(d(3)s(2)) and Ti(d(2)s(2)), we show that TiN and TaN are completely soluble due to the hybridization of the d and sp electrons of the metals and N, respectively, that stabilizes the ternary Ti(x)Ta(1-x)N systems to the rocksalt structure. The optical properties of Ti(x)Ta(1-x)N have been studied using spectroscopic methods and detailed electronic structure calculations, revealing that the plasma energy of the fully dense Ti(x)Ta(1-x)N is varying between 7.8 and 9.45 eV. Additional optical absorption bands are manifested due to the N p -> Ti/Ta d interband transition the t(2g)-> e(g) transition due to splitting of the metals' d band, with the major exception of the Ti(0.50)Ta(0.50)N, where the e(g) unoccupied states are not manifested due to the local structure of the ternary system; this finding is observed for the first time and proves previous assignments of optical transitions in TaN.

Περιγραφή

Λέξεις-κλειδιά

ab initio calculations, density functional theory, electron correlations, pulsed laser deposition, tantalum compounds, thin films, titanium compounds, valence bands, time spectroscopic ellipsometry, nitride thin-films, diffusion-barriers, preferred orientation, copper metallization, optical-properties, tan layers, evolution, microstructure, deposition

Θεματική κατηγορία

Παραπομπή

Σύνδεσμος

<Go to ISI>://000266500100105
http://link.aip.org/getpdf/servlet/GetPDFServlet?filetype=pdf&id=JAPIAU000105000010103714000001

Γλώσσα

en

Εκδίδον τμήμα/τομέας

Όνομα επιβλέποντος

Εξεταστική επιτροπή

Γενική Περιγραφή / Σχόλια

Ίδρυμα και Σχολή/Τμήμα του υποβάλλοντος

Πανεπιστήμιο Ιωαννίνων. Σχολή Θετικών Επιστημών. Τμήμα Χημείας

Πίνακας περιεχομένων

Χορηγός

Βιβλιογραφική αναφορά

Ονόματα συντελεστών

Αριθμός σελίδων

Λεπτομέρειες μαθήματος

item.page.endorsement

item.page.review

item.page.supplemented

item.page.referenced