Effects of annealing conditions on charge storage of Si nanocrystal memory devices obtained by low-energy ion beam synthesis
Φόρτωση...
Ημερομηνία
Συγγραφείς
Normand, P.
Kapetanakis, E.
Dimitrakis, P.
Skarlatos, D.
Tsoukalas, D.
Beltsios, K.
Claverie, A.
Benassayag, G.
Bonafos, C.
Carrada, M.
Τίτλος Εφημερίδας
Περιοδικό ISSN
Τίτλος τόμου
Εκδότης
Elsevier
Περίληψη
Τύπος
Είδος δημοσίευσης σε συνέδριο
Είδος περιοδικού
peer reviewed
Είδος εκπαιδευτικού υλικού
Όνομα συνεδρίου
Όνομα περιοδικού
Microelectronic Engineering
Όνομα βιβλίου
Σειρά βιβλίου
Έκδοση βιβλίου
Συμπληρωματικός/δευτερεύων τίτλος
Περιγραφή
The structural and electrical characteristics of thin silicon dioxide layers with embedded Si nanocrystals are reported fabricated by low-energy silicon implantation and with subsequent annealing in inert and diluted oxygen. Thermal treatment in diluted oxygen increases the thickness of the control oxide, does not affect significantly the size of the nanocrystals, and improves the integrity of the oxide. As a result, strong charge storage effects at low gate voltages and enhanced charge retention times are observed through electrical measurements of MOS capacitors. These results indicate that a combination of low-energy silicon implants and annealing in diluted oxygen permits the fabrication of low-voltage nonvolatile memory devices. (C) 2003 Elsevier Science B.V. All rights reserved.
Περιγραφή
Λέξεις-κλειδιά
nanocrystals, nanocrystal memory, nonvolatile memory, ion beam synthesis, ion implantation, 2-d arrays, implantation
Θεματική κατηγορία
Παραπομπή
Σύνδεσμος
<Go to ISI>://000183842100086
http://ac.els-cdn.com/S0167931703001242/1-s2.0-S0167931703001242-main.pdf?_tid=a33ecd2d25e8781b3a168a1a69b04e4e&acdnat=1339662580_d1bedd80578b4e7d3378145e0d3fed1c
http://ac.els-cdn.com/S0167931703001242/1-s2.0-S0167931703001242-main.pdf?_tid=a33ecd2d25e8781b3a168a1a69b04e4e&acdnat=1339662580_d1bedd80578b4e7d3378145e0d3fed1c
Γλώσσα
en
Εκδίδον τμήμα/τομέας
Όνομα επιβλέποντος
Εξεταστική επιτροπή
Γενική Περιγραφή / Σχόλια
Ίδρυμα και Σχολή/Τμήμα του υποβάλλοντος
Πανεπιστήμιο Ιωαννίνων. Σχολή Θετικών Επιστημών. Τμήμα Μηχανικών Επιστήμης Υλικών