Processing issues in silicon nanocrystal manufacturing by ultra-low-energy ion-beam-synthesis for non-volatile memory applications
Φόρτωση...
Ημερομηνία
Συγγραφείς
Normand, P.
Dimitrakis, P.
Kapetanakis, E.
Skarlatos, D.
Beltsios, K.
Tsoukalas, D.
Bonafos, C.
Coffin, H.
Benassayag, G.
Claverie, A.
Τίτλος Εφημερίδας
Περιοδικό ISSN
Τίτλος τόμου
Εκδότης
Elsevier
Περίληψη
Τύπος
Είδος δημοσίευσης σε συνέδριο
Είδος περιοδικού
peer reviewed
Είδος εκπαιδευτικού υλικού
Όνομα συνεδρίου
Όνομα περιοδικού
Microelectronic Engineering
Όνομα βιβλίου
Σειρά βιβλίου
Έκδοση βιβλίου
Συμπληρωματικός/δευτερεύων τίτλος
Περιγραφή
Recent fabrication issues encountered during the synthesis of silicon nanocrystals in thin SiO2 films by the technique of ultra-low energy ion implantation and subsequent thermal treatment (ULE-IBS) are presented. The effects of charge neutralization of the implanted species, energy contamination and post-implantation cleaning process on the electrical and structural properties of the processed oxides are described, with emphasis upon the technological options to control them. While much research is still required for industrial exploitation of ULE-IBS in the fabrication of competitive and reproducible memory structures, promising results for prototype devices aiming at low-voltage non-volatile memory applications have been obtained and are here reported. (C) 2004 Elsevier B.V. All rights reserved.
Περιγραφή
Λέξεις-κλειδιά
silicon nanocrystals, ion beam synthesis, silicon implantation, nanocrystal memory, non-volatile memory, 2-d arrays, thin sio2, implantation
Θεματική κατηγορία
Παραπομπή
Σύνδεσμος
<Go to ISI>://000222145400130
http://ac.els-cdn.com/S0167931704002114/1-s2.0-S0167931704002114-main.pdf?_tid=b02cfb0cdb7294528c827bbeefdec645&acdnat=1339662557_3510efc4338ffca481b86d7f374cdc84
http://ac.els-cdn.com/S0167931704002114/1-s2.0-S0167931704002114-main.pdf?_tid=b02cfb0cdb7294528c827bbeefdec645&acdnat=1339662557_3510efc4338ffca481b86d7f374cdc84
Γλώσσα
en
Εκδίδον τμήμα/τομέας
Όνομα επιβλέποντος
Εξεταστική επιτροπή
Γενική Περιγραφή / Σχόλια
Ίδρυμα και Σχολή/Τμήμα του υποβάλλοντος
Πανεπιστήμιο Ιωαννίνων. Σχολή Θετικών Επιστημών. Τμήμα Μηχανικών Επιστήμης Υλικών