Sequential polymer lithography for chemical sensor arrays
Φόρτωση...
Ημερομηνία
Συγγραφείς
Kitsara, M.
Beltsios, K.
Goustouridis, D.
Chatzandroulis, S.
Raptis, L.
Τίτλος Εφημερίδας
Περιοδικό ISSN
Τίτλος τόμου
Εκδότης
Elsevier
Περίληψη
Τύπος
Είδος δημοσίευσης σε συνέδριο
Είδος περιοδικού
peer reviewed
Είδος εκπαιδευτικού υλικού
Όνομα συνεδρίου
Όνομα περιοδικού
European Polymer Journal
Όνομα βιβλίου
Σειρά βιβλίου
Έκδοση βιβλίου
Συμπληρωματικός/δευτερεύων τίτλος
Περιγραφή
A simple process for the deposition of up to six different polymers in selected areas to be used as sensitive layers in chemical sensor arrays is presented. The process is based on photolithographic processes and takes advantage of the balance between UV exposure dose, material tone and developers used. The sensing properties of the deposited films in the array were characterized by the in situ monitoring of volume expansion upon exposure to analytes using white light reflectance sspectroscopy. The swelling properties of processed films are compared to the unprocessed ones for the purpose of examining the variation induced by the processing steps (exposure and development circles). Additionally, the repeatability of the processes as well as the effect of analyte sequence is examined. This process offers good control of the lateral dimensions and the thickness of the polymeric films and allows for the parallel fabrication of sensors based on different transduction mechanisms including mass sensitive and stress induced bending chemical sensors. (c) 2007 Elsevier Ltd. All rights reserved.
Περιγραφή
Λέξεις-κλειδιά
polymer deposition, photolithography, chemical sensors, vapor sorption, polymer swelling, white-light interferometry, volatile organic-compounds, electron-beam, water-vapor, films, methacrylate), sorption, resist, microsensors, performance
Θεματική κατηγορία
Παραπομπή
Σύνδεσμος
<Go to ISI>://000251625700003
http://ac.els-cdn.com/S0014305707004454/1-s2.0-S0014305707004454-main.pdf?_tid=cf68bf189fdb71e901bf7c6a45644ff2&acdnat=1339662528_15af258000b830796a8e97ebff9ab490
http://ac.els-cdn.com/S0014305707004454/1-s2.0-S0014305707004454-main.pdf?_tid=cf68bf189fdb71e901bf7c6a45644ff2&acdnat=1339662528_15af258000b830796a8e97ebff9ab490
Γλώσσα
en
Εκδίδον τμήμα/τομέας
Όνομα επιβλέποντος
Εξεταστική επιτροπή
Γενική Περιγραφή / Σχόλια
Ίδρυμα και Σχολή/Τμήμα του υποβάλλοντος
Πανεπιστήμιο Ιωαννίνων. Σχολή Θετικών Επιστημών. Τμήμα Μηχανικών Επιστήμης Υλικών