Mechanical performance and growth characteristics of boron nitride films with respect to their optical, compositional properties and density
Φόρτωση...
Ημερομηνία
Συγγραφείς
Panayiotatos, Y.
Patsalas, P.
Charitidis, C.
Logothetidis, S.
Τίτλος Εφημερίδας
Περιοδικό ISSN
Τίτλος τόμου
Εκδότης
Elsevier
Περίληψη
Τύπος
Είδος δημοσίευσης σε συνέδριο
Είδος περιοδικού
peer reviewed
Είδος εκπαιδευτικού υλικού
Όνομα συνεδρίου
Όνομα περιοδικού
Surface & Coatings Technology
Όνομα βιβλίου
Σειρά βιβλίου
Έκδοση βιβλίου
Συμπληρωματικός/δευτερεύων τίτλος
Περιγραφή
We present a study of the growth processes of sputtered BN films, deposited on c-Si (001) substrates, at room temperature (RT) by rf magnetron sputtering. Nanoindentation (hardness similar to21 GPa), density (similar to2.6 g/cm(3)) and roughness by X-ray reflectivity and stress measurements indicated the existence of sp(3)-bonded BN with properties similar to those of crystalline BN being superior for optical applications due to their homogeneity offering a single refractive index and smooth surfaces. The growth mechanism of sputtered BN films is sensitive to the Ar partial pressure and the bias voltage applied to the substrate during deposition inducing bombardment of the film with Ar+ ions. There is a narrow ion energy window where sp(3)-bonded BN is predominant providing dense, hard- and wear-resistant films. The fact that they are produced at RT and they are homogeneous with no gradient refractive index and smooth surfaces are correct for processes, such as optical applications on polymers or soft substrates. (C) 2002 Elsevier Science BN. All rights reserved.
Περιγραφή
Λέξεις-κλειδιά
boron nitride, spectroscopic ellipsometry, magnetron sputtering, nanoindentation, x-ray reflectivity, density, amorphous-carbon films, thin-films
Θεματική κατηγορία
Παραπομπή
Σύνδεσμος
<Go to ISI>://000174011400033
Γλώσσα
en
Εκδίδον τμήμα/τομέας
Όνομα επιβλέποντος
Εξεταστική επιτροπή
Γενική Περιγραφή / Σχόλια
Ίδρυμα και Σχολή/Τμήμα του υποβάλλοντος
Πανεπιστήμιο Ιωαννίνων. Σχολή Θετικών Επιστημών. Τμήμα Μηχανικών Επιστήμης Υλικών