In situ and real-time ellipsometry diagnostic techniques towards the monitoring of the bonding structure and growth kinetics: silicon oxide coatings
Φόρτωση...
Ημερομηνία
Συγγραφείς
Logothetidis, S.
Laskarakis, A.
Gika, A.
Patsalas, P.
Τίτλος Εφημερίδας
Περιοδικό ISSN
Τίτλος τόμου
Εκδότης
Elsevier
Περίληψη
Τύπος
Είδος δημοσίευσης σε συνέδριο
Είδος περιοδικού
peer reviewed
Είδος εκπαιδευτικού υλικού
Όνομα συνεδρίου
Όνομα περιοδικού
Surface & Coatings Technology
Όνομα βιβλίου
Σειρά βιβλίου
Έκδοση βιβλίου
Συμπληρωματικός/δευτερεύων τίτλος
Περιγραφή
We present a modem methodology concerning the applicability of in situ and real-time optical diagnostic techniques for the study of the optical properties, bonding structure evolution during film growth, in the case of silicon oxide films deposited by e-beam evaporation. Fourier Transform IR Spectroscopic Ellipsometry (SE) was used for in situ and real-time monitoring of the film optical properties during growth. This technique enables the investigation of the films bonding structure and stoichiometry at different growth stages that were associated with the partial pressures of the evaporated species. In addition, films' optical properties. density and surface and inter-face quality were studied by multi-wavelength SE in UV-vis region. This methodology C reveals the potential of in situ and real-time diagnostic techniques, for the optimization of process control by the preparation of the appropriate transparent oxide coatings for various applications. (C) 2002 Elsevier Science B.V.. All rights reserved.
Περιγραφή
Λέξεις-κλειδιά
in situ, real-time, spectroscopic ellipsometry, optical properties, silicon oxide, chemical-vapor-deposition, films
Θεματική κατηγορία
Παραπομπή
Σύνδεσμος
<Go to ISI>://000174011400042
Γλώσσα
en
Εκδίδον τμήμα/τομέας
Όνομα επιβλέποντος
Εξεταστική επιτροπή
Γενική Περιγραφή / Σχόλια
Ίδρυμα και Σχολή/Τμήμα του υποβάλλοντος
Πανεπιστήμιο Ιωαννίνων. Σχολή Θετικών Επιστημών. Τμήμα Μηχανικών Επιστήμης Υλικών