A comparative study of composition, structure and elastic properties of boron nitride films deposited by magnetron and ion beam sputtering
Φόρτωση...
Ημερομηνία
Συγγραφείς
Logothetidis, S.
Charitidis, C.
Patsalas, P.
Kehagias, T.
Τίτλος Εφημερίδας
Περιοδικό ISSN
Τίτλος τόμου
Εκδότης
Elsevier
Περίληψη
Τύπος
Είδος δημοσίευσης σε συνέδριο
Είδος περιοδικού
peer reviewed
Είδος εκπαιδευτικού υλικού
Όνομα συνεδρίου
Όνομα περιοδικού
Diamond and Related Materials
Όνομα βιβλίου
Σειρά βιβλίου
Έκδοση βιβλίου
Συμπληρωματικός/δευτερεύων τίτλος
Περιγραφή
Sputtering from hexagonal BN targets, using a conventional magnetron (MS) or ion beam (IBS), produces films consisting of both sp(2)- and sp(3)-bonded BN and BNx. We present here the dependence of BN film composition, structure, morphology and elastic properties on the bias voltage (V-b) applied on the substrate in the case of MS, compared with those of IBS-deposited BN films. The optical properties and the composition of the BN films were examined by spectroscopic ellipsometry (SE), whereas the chemical bonding was identified by Fourier Transform IR SE. The films' structure, morphology and density were also examined by X-ray diffraction and reflectivity and transmission electron microscopy. The elastic properties of the films were studied by nanoindentation techniques. Significant differences were found in composition, chemical bonding and structure of films grown by MS at various bias voltages. (C) 1999 Elsevier Science S.A. All rights reserved.
Περιγραφή
Λέξεις-κλειδιά
bn phases, ellipsometry, hardness, infra-red, pulsed-laser deposition, thin-films, growth, ellipsometry, layer
Θεματική κατηγορία
Παραπομπή
Σύνδεσμος
<Go to ISI>://000080437000058
Γλώσσα
en
Εκδίδον τμήμα/τομέας
Όνομα επιβλέποντος
Εξεταστική επιτροπή
Γενική Περιγραφή / Σχόλια
Ίδρυμα και Σχολή/Τμήμα του υποβάλλοντος
Πανεπιστήμιο Ιωαννίνων. Σχολή Θετικών Επιστημών. Τμήμα Μηχανικών Επιστήμης Υλικών