Effects of non-depositing energetic species during the growth of boron nitride and amorphous carbon thin films by sputter deposition
Φόρτωση...
Ημερομηνία
Συγγραφείς
Panayiotatos, Y.
Patsalas, P.
Handrea, M.
Logothetidis, S.
Τίτλος Εφημερίδας
Περιοδικό ISSN
Τίτλος τόμου
Εκδότης
Elsevier
Περίληψη
Τύπος
Είδος δημοσίευσης σε συνέδριο
Είδος περιοδικού
peer reviewed
Είδος εκπαιδευτικού υλικού
Όνομα συνεδρίου
Όνομα περιοδικού
Surface & Coatings Technology
Όνομα βιβλίου
Σειρά βιβλίου
Έκδοση βιβλίου
Συμπληρωματικός/δευτερεύων τίτλος
Περιγραφή
We study the effect of ion irradiation during the growth of boron nitride (BN) and amorphous carbon (a-C) by sputter deposition. We found that the dominant effects for the BN growth are the subplantation of N+ and B+ species. For energies higher than the threshold for Ar+ subplantation, the Ar+ penetrates into BN and disrupts the B-N bonds resulting in defective BN. The existence of Ar impurities in such films promotes the stability of C impurities. These effects result in a very narrow window of ion energy (<40 eV width) where successful growth of BN films may be achieved. On the other hand, in a-C films, sp(3)-bonded C, we found a close correlation between the Ar impurities with the sp(3)-content, which suggests that Ar impurities promote the formation of sp(3)-bonded carbon in a-C, in contrast to BN growth. (C) 2003 Elsevier B.V. All rights reserved.
Περιγραφή
Λέξεις-κλειδιά
x-ray photoelectron spectroscopy, energetic species, thermalization subplantation, compressive stress, density, spectroscopy
Θεματική κατηγορία
Παραπομπή
Σύνδεσμος
<Go to ISI>://000220889900070
Γλώσσα
en
Εκδίδον τμήμα/τομέας
Όνομα επιβλέποντος
Εξεταστική επιτροπή
Γενική Περιγραφή / Σχόλια
Ίδρυμα και Σχολή/Τμήμα του υποβάλλοντος
Πανεπιστήμιο Ιωαννίνων. Σχολή Θετικών Επιστημών. Τμήμα Μηχανικών Επιστήμης Υλικών