Robust Block Copolymer Mask for Nanopatterning Polymer Films
Φόρτωση...
Ημερομηνία
Συγγραφείς
Chao, C. C.
Wang, T. C.
Ho, R. M.
Georgopanos, P.
Avgeropoulos, A.
Thomas, E. L.
Τίτλος Εφημερίδας
Περιοδικό ISSN
Τίτλος τόμου
Εκδότης
American Chemical Society
Περίληψη
Τύπος
Είδος δημοσίευσης σε συνέδριο
Είδος περιοδικού
peer reviewed
Είδος εκπαιδευτικού υλικού
Όνομα συνεδρίου
Όνομα περιοδικού
ACS Nano
Όνομα βιβλίου
Σειρά βιβλίου
Έκδοση βιβλίου
Συμπληρωματικός/δευτερεύων τίτλος
Περιγραφή
The formation of well-oriented cylinders with perpendicular morphology for polystyrene-b-polydimethylsiloxane (PS-PDMS) thin films was achieved by spin coating. The self-assembled PS-PDMS nanostructured thin films were used as templates for nanopatterning; the PDMS blocks can be oxidized as silicon oxy carbide microdomains, whereas the PS blocks were degenerated by a simple oxygen plasma treatment for one-step oxidization. As a result, freestanding silicon oxy carbide thin films with hexagonally packed nanochannels were directly fabricated and used as masks for pattern transfer to underlying polymeric materials by oxygen reaction ion etching (RIE) to generate topographic nanopatterns. By taking advantage of robust property and high etching selectivity of the SiOC thin films under oxygen RIE, this nanoporous thin film can be used as an etch-resistant and reusable mask for pattern transfer to various polymeric materials. This approach demonstrates a simple, convenient, and cost-effective nanofabrication technique to create the topographic nanopatterns of polymeric materials.
Περιγραφή
Λέξεις-κλειδιά
assembly, thin films, nanostructures, porous materials, polymeric materials, thin-films, diblock copolymer, lithography, polystyrene, arrays, orientation, templates, polydimethylsiloxane, nanolithography, nanostructures
Θεματική κατηγορία
Παραπομπή
Σύνδεσμος
<Go to ISI>://000276956800041
http://pubs.acs.org/doi/abs/10.1021/nn901370g
http://pubs.acs.org/doi/abs/10.1021/nn901370g
Γλώσσα
en
Εκδίδον τμήμα/τομέας
Όνομα επιβλέποντος
Εξεταστική επιτροπή
Γενική Περιγραφή / Σχόλια
Ίδρυμα και Σχολή/Τμήμα του υποβάλλοντος
Πανεπιστήμιο Ιωαννίνων. Σχολή Θετικών Επιστημών. Τμήμα Μηχανικών Επιστήμης Υλικών