Optical and electrical properties of TiN/n-GaN contacts in correlation with their structural properties
Φόρτωση...
Ημερομηνία
Συγγραφείς
Gautier, S.
Komninou, P.
Patsalas, P.
Kehagias, T.
Logothetidis, S.
Dimitriadis, C. A.
Nouet, G.
Τίτλος Εφημερίδας
Περιοδικό ISSN
Τίτλος τόμου
Εκδότης
IOP Publishing Ltd
Περίληψη
Τύπος
Είδος δημοσίευσης σε συνέδριο
Είδος περιοδικού
peer reviewed
Είδος εκπαιδευτικού υλικού
Όνομα συνεδρίου
Όνομα περιοδικού
Semiconductor Science and Technology
Όνομα βιβλίου
Σειρά βιβλίου
Έκδοση βιβλίου
Συμπληρωματικός/δευτερεύων τίτλος
Περιγραφή
The optical and electrical properties of TiN contacts on Si-doped GaN were investigated in correlation with their structural properties. Stoichiometric TiN films were directly deposited on 2.5 mum thick n-GaN by dc reactive magnetron sputtering at room temperature, while the stoichiometry and the structural characteristics of the TiN films were determined by in situ spectroscopic ellipsometry (SE). SE was also used for characterization of the GaN surface and for chemical etching of gallium oxide. Current-voltage measurements showed an ohmic behaviour for the as-deposited and annealed TiN/GaN samples. The specific contact resistivity was found to be 4.5 x 10(-3) Omega cm(2) for the as-deposited TiN film, becoming as low as 5.9 x 10(-4) Omega cm(2) after annealing at 400 degreesC. Further thermal treatment over 500 degreesC resulted in significant TiN oxidation and poor adhesion of the TiN film on the GaN, leading to an increase in specific contact resistivity. Transmission electron microscopy revealed structural and interfacial contact changes after high thermal treatment.
Περιγραφή
Λέξεις-κλειδιά
n-type gan, nitride thin-films, resistance ohmic contacts, si-doped gan, titanium nitride, gallium nitride, thermal-stability, hexagonal gan, ti/al-contacts, low-temperature
Θεματική κατηγορία
Παραπομπή
Σύνδεσμος
<Go to ISI>://000183851500039
Γλώσσα
en
Εκδίδον τμήμα/τομέας
Όνομα επιβλέποντος
Εξεταστική επιτροπή
Γενική Περιγραφή / Σχόλια
Ίδρυμα και Σχολή/Τμήμα του υποβάλλοντος
Πανεπιστήμιο Ιωαννίνων. Σχολή Θετικών Επιστημών. Τμήμα Μηχανικών Επιστήμης Υλικών