Nanostructuring of PDMS surfaces: Dependence on casting solvents
Φόρτωση...
Ημερομηνία
Συγγραφείς
Vlachopoulou, M. E.
Tserepi, A.
Beltsios, K.
Boulousis, G.
Gogolides, E.
Τίτλος Εφημερίδας
Περιοδικό ISSN
Τίτλος τόμου
Εκδότης
Elsevier
Περίληψη
Τύπος
Είδος δημοσίευσης σε συνέδριο
Είδος περιοδικού
peer reviewed
Είδος εκπαιδευτικού υλικού
Όνομα συνεδρίου
Όνομα περιοδικού
Microelectronic Engineering
Όνομα βιβλίου
Σειρά βιβλίου
Έκδοση βιβλίου
Συμπληρωματικός/δευτερεύων τίτλος
Περιγραφή
In this work, the processing properties of poly-dimethylsiloxane (PDMS) are investigated as factors affecting its surface nanostructuring by means of plasma etching. When PDMS films are exposed to SF6 plasmas under conditions ensuring anisotropic etching, column-like structures appear on the PDMS surface. The prime aim of this work is to show that the PDMS surface topography can be tuned by the proper choice of the casting solvent used for the deposition of the PDMS films. In addition, we have prompted the effect of short time chain relaxation of the spun film structure before the introduction of crosslinks through thermal curing. By proper choice of solvent quality and other processing parameters it is found possible to achieve as much as 30% controlled variation of rms roughness and 50% variation of column spacing for a given set of representative plasma conditions. (c) 2007 Elsevier B.V. All rights reserved.
Περιγραφή
Λέξεις-κλειδιά
pdms, sf6 plasma, surface topography, columnar structures, chain packing, lithography
Θεματική κατηγορία
Παραπομπή
Σύνδεσμος
<Go to ISI>://000247182500184
http://ac.els-cdn.com/S0167931707001943/1-s2.0-S0167931707001943-main.pdf?_tid=31cf7258dc2465aa7aabac9ccf0c9fc8&acdnat=1339662537_8e419bae1248467f996cbf1c1d0131b5
http://ac.els-cdn.com/S0167931707001943/1-s2.0-S0167931707001943-main.pdf?_tid=31cf7258dc2465aa7aabac9ccf0c9fc8&acdnat=1339662537_8e419bae1248467f996cbf1c1d0131b5
Γλώσσα
en
Εκδίδον τμήμα/τομέας
Όνομα επιβλέποντος
Εξεταστική επιτροπή
Γενική Περιγραφή / Σχόλια
Ίδρυμα και Σχολή/Τμήμα του υποβάλλοντος
Πανεπιστήμιο Ιωαννίνων. Σχολή Θετικών Επιστημών. Τμήμα Μηχανικών Επιστήμης Υλικών