Characterization of BaTiO3 thin films on p-Si
Φόρτωση...
Ημερομηνία
Συγγραφείς
Evangelou, E. K.
Konofaos, N.
Aslanoglou, X.
Kennou, S.
Thomas, C. B.
Τίτλος Εφημερίδας
Περιοδικό ISSN
Τίτλος τόμου
Εκδότης
Περίληψη
Τύπος
Είδος δημοσίευσης σε συνέδριο
Είδος περιοδικού
peer reviewed
Είδος εκπαιδευτικού υλικού
Όνομα συνεδρίου
Όνομα περιοδικού
Materials Science in Semiconductor Processing
Όνομα βιβλίου
Σειρά βιβλίου
Έκδοση βιβλίου
Συμπληρωματικός/δευτερεύων τίτλος
Περιγραφή
Polycrystalline BaTiO3 thin films grown on p-Si (1 0 0) substrates by RF sputtering and subjected to a post-thermal annealing at 700 degreesC, were characterized for potential applications as cladding insulators in AC thin-him electroluminescent devices. Building such a device requires the study of an insulator/semiconductor and an insulator/phosphor interface. The study of the BaTiO3 surface in the present work provides information on the creation of defects due to the deposition process. Rutherford backscattering spectroscopy and X-ray photoelectron spectroscopy were used to investigate the surface and bulk created defects. They showed the existence of Ba and Ti oxides formed on the surface probably due to the post thermal annealing, These oxides may be responsible for the creation of interface states between the BaTiO3 film and the subsequent deposited ZnS films in order to build an AC thin-film electroluminescent device. (C) 2001 Elsevier Science Ltd. All rights reserved.
Περιγραφή
Λέξεις-κλειδιά
actfel devices, xps, rbs, batio3 films, barium-titanate, silicon, states
Θεματική κατηγορία
Παραπομπή
Σύνδεσμος
<Go to ISI>://000167727200071
http://ac.els-cdn.com/S1369800100001098/1-s2.0-S1369800100001098-main.pdf?_tid=d18745192a9f2843bdc8bd85091c0048&acdnat=1334134339_6b5c0aa2facfe658eec10eba93c3bca2
http://ac.els-cdn.com/S1369800100001098/1-s2.0-S1369800100001098-main.pdf?_tid=d18745192a9f2843bdc8bd85091c0048&acdnat=1334134339_6b5c0aa2facfe658eec10eba93c3bca2
Γλώσσα
en
Εκδίδον τμήμα/τομέας
Όνομα επιβλέποντος
Εξεταστική επιτροπή
Γενική Περιγραφή / Σχόλια
Ίδρυμα και Σχολή/Τμήμα του υποβάλλοντος
Πανεπιστήμιο Ιωαννίνων. Σχολή Επιστημών και Τεχνολογιών. Τμήμα Βιολογικών Εφαρμογών και Τεχνολογιών