Multiwavelength interferometry and competing optical methods for the thermal probing of thin polymeric films

Φόρτωση...
Μικρογραφία εικόνας

Ημερομηνία

Συγγραφείς

Vourdas, N.
Karadimos, G.
Goustouridis, D.
Gogolides, E.
Boudouvis, A. G.
Tortai, J. H.
Beltsios, K.
Raptis, I.

Τίτλος Εφημερίδας

Περιοδικό ISSN

Τίτλος τόμου

Εκδότης

Wiley

Περίληψη

Τύπος

Είδος δημοσίευσης σε συνέδριο

Είδος περιοδικού

peer reviewed

Είδος εκπαιδευτικού υλικού

Όνομα συνεδρίου

Όνομα περιοδικού

Journal of Applied Polymer Science

Όνομα βιβλίου

Σειρά βιβλίου

Έκδοση βιβλίου

Συμπληρωματικός/δευτερεύων τίτλος

Περιγραφή

Multiple-wavelength interferometry (MWI), a new optical method for the thermal probing of thin polymer films, is introduced and explored. MWI is compared with two standard optical methods, single-wavelength interferometry and spectroscopic ellipsometry, with regard to the detection of the glass transition temperature (T-g) of thin supported polymer films. Poly(methyl methacrylate) films are deposited by spin coating on Si and SiO2 substrates. MWI is also applied to the study of the effect of film thickness (25-600 nm) and polymer molecular weight (1.5 x 10(4) to 10(6)) on T-g, the effect of film thickness on the coefficients of thermal expansion both below and above T-g, and the effect of deep UV exposure time on the thermal properties (glass transition and degradation temperatures) of the films. This further exploration of the MWI method provides substantial insights about intricate issues pertinent to the thermal behavior of thin polymer films. (c) 2006 Wiley Periodicals, Inc.

Περιγραφή

Λέξεις-κλειδιά

glass transition, thin polymeric films, spectroscopic ellipsometry, interferometry, coefficient of thermal expansion, poly(methyl methacrylate), lithography, glass-transition-temperature, poly(methyl methacrylate), thickness dependence, t-g, substrate, ellipsometry, spectroscopy, photoresist, surfaces

Θεματική κατηγορία

Παραπομπή

Σύνδεσμος

<Go to ISI>://000241593700091
http://onlinelibrary.wiley.com/store/10.1002/app.25107/asset/25107_ftp.pdf?v=1&t=h3fkdnv5&s=81b182832b0e904e918b7866c13bba8d6dd1e91a

Γλώσσα

en

Εκδίδον τμήμα/τομέας

Όνομα επιβλέποντος

Εξεταστική επιτροπή

Γενική Περιγραφή / Σχόλια

Ίδρυμα και Σχολή/Τμήμα του υποβάλλοντος

Πανεπιστήμιο Ιωαννίνων. Σχολή Θετικών Επιστημών. Τμήμα Μηχανικών Επιστήμης Υλικών

Πίνακας περιεχομένων

Χορηγός

Βιβλιογραφική αναφορά

Ονόματα συντελεστών

Αριθμός σελίδων

Λεπτομέρειες μαθήματος

item.page.endorsement

item.page.review

item.page.supplemented

item.page.referenced