Polycrystalline diamond formation by post-growth ion bombardment of sputter-deposited amorphous carbon films
Φόρτωση...
Ημερομηνία
Τίτλος Εφημερίδας
Περιοδικό ISSN
Τίτλος τόμου
Εκδότης
Pergamon-Elsevier
Περίληψη
Τύπος
Είδος δημοσίευσης σε συνέδριο
Είδος περιοδικού
peer reviewed
Είδος εκπαιδευτικού υλικού
Όνομα συνεδρίου
Όνομα περιοδικού
Carbon
Όνομα βιβλίου
Σειρά βιβλίου
Έκδοση βιβλίου
Συμπληρωματικός/δευτερεύων τίτλος
Περιγραφή
Post-growth Ar+ ion beam bombardment (IBB) of amorphous carbon (a-C) films on Si, with energies above 1 keV, induces several structural modifications in the films, including the formation of diamond, graphite and SIC grains. X-ray diffraction (in both conventional and grazing incidence geometry) and high resolution electron microscopy were used to study the structure of the as grown films and the phases - with emphasis to diamond - that resulted after IBB. The a-C films morphology and density were also studied by X-ray reflectivity and show an increase in film density upon IBB. (C) 1999 Elsevier Science Ltd All rights reserved.
Περιγραφή
Λέξεις-κλειδιά
diamond, plasma sputtering, electron microscopy, x-ray diffraction, microstructure, spectroscopic ellipsometry, beam bombardment, transformation, thickness, coatings, phase
Θεματική κατηγορία
Παραπομπή
Σύνδεσμος
<Go to ISI>://000080216000029
Γλώσσα
en
Εκδίδον τμήμα/τομέας
Όνομα επιβλέποντος
Εξεταστική επιτροπή
Γενική Περιγραφή / Σχόλια
Ίδρυμα και Σχολή/Τμήμα του υποβάλλοντος
Πανεπιστήμιο Ιωαννίνων. Σχολή Θετικών Επιστημών. Τμήμα Μηχανικών Επιστήμης Υλικών