Tetragonal or monoclinic ZrO2 thin films from Zr-based glassy templates

Φόρτωση...
Μικρογραφία εικόνας

Ημερομηνία

Συγγραφείς

Panagiotopoulos, N. T.
Kovac, J.
Cvelbar, U.
Patsalas, P.
Mozetic, M.
Evangelakis, G. A.

Τίτλος Εφημερίδας

Περιοδικό ISSN

Τίτλος τόμου

Εκδότης

American Vacuum Society

Περίληψη

Τύπος

Είδος δημοσίευσης σε συνέδριο

Είδος περιοδικού

peer reviewed

Είδος εκπαιδευτικού υλικού

Όνομα συνεδρίου

Όνομα περιοδικού

Journal of Vacuum Science & Technology A

Όνομα βιβλίου

Σειρά βιβλίου

Έκδοση βιβλίου

Συμπληρωματικός/δευτερεύων τίτλος

Περιγραφή

The authors report on the selective formation of pure tetragonal or mixed tetragonal-monoclinic ZrO2 films by means of post-growth oxygen plasma treatment of Zr-based Zr-Cu ternary or quaternary metallic glassy (MG) films containing minor additions of Al, Ti, and Si. It came out that the choice of the third and/or fourth element in the MG template, in conjunction with oxygen plasma conditions and treatment time, determine the crystal structure and the surface morphology of the ZrO2 films. The authors found that the oxidation of the Zr-Cu MG template resulted in mixed tetragonal-monoclinic ZrO2 film with rather rough surface, whereas in the case of Al additions smooth surfaces of pure tetragonal or mixed tetragonal-monoclinic ZrO2 films were grown after short and long treatment times, respectively. In addition, oxygen plasma treatment of MG templates containing Ti and/or Si minor additions resulted in mixed tetragonal-monoclinic ZrO2 films, the doping element and the treatment times adjusting besides the concentration of each phase also the surface morphologies, which can vary from cones, in the case of Ti addition, to nanosponge and completely rough structures in Si ternary and Si/Ti quaternary systems, respectively. These findings suggest a quick, amenable, and low cost method of two-step industrial scale processing for selective growth of tetragonal and/or monoclinic ZrO2 with specific surface morphology. (C) 2012 American Vacuum Society. [http://dx.doi.org/10.1116/1.4742258]

Περιγραφή

Λέξεις-κλειδιά

bulk metallic-glass, yttria-stabilized zirconia, oxidation behavior, optical-properties, amorphous-alloys, nanocrystals, deposition, surface, plasma, growth

Θεματική κατηγορία

Παραπομπή

Σύνδεσμος

<Go to ISI>://000308404900030

Γλώσσα

en

Εκδίδον τμήμα/τομέας

Όνομα επιβλέποντος

Εξεταστική επιτροπή

Γενική Περιγραφή / Σχόλια

Ίδρυμα και Σχολή/Τμήμα του υποβάλλοντος

Πανεπιστήμιο Ιωαννίνων. Σχολή Θετικών Επιστημών. Τμήμα Μηχανικών Επιστήμης Υλικών

Πίνακας περιεχομένων

Χορηγός

Βιβλιογραφική αναφορά

Ονόματα συντελεστών

Αριθμός σελίδων

Λεπτομέρειες μαθήματος

item.page.endorsement

item.page.review

item.page.supplemented

item.page.referenced