Tetragonal or monoclinic ZrO2 thin films from Zr-based glassy templates
Φόρτωση...
Ημερομηνία
Συγγραφείς
Panagiotopoulos, N. T.
Kovac, J.
Cvelbar, U.
Patsalas, P.
Mozetic, M.
Evangelakis, G. A.
Τίτλος Εφημερίδας
Περιοδικό ISSN
Τίτλος τόμου
Εκδότης
American Vacuum Society
Περίληψη
Τύπος
Είδος δημοσίευσης σε συνέδριο
Είδος περιοδικού
peer reviewed
Είδος εκπαιδευτικού υλικού
Όνομα συνεδρίου
Όνομα περιοδικού
Journal of Vacuum Science & Technology A
Όνομα βιβλίου
Σειρά βιβλίου
Έκδοση βιβλίου
Συμπληρωματικός/δευτερεύων τίτλος
Περιγραφή
The authors report on the selective formation of pure tetragonal or mixed tetragonal-monoclinic ZrO2 films by means of post-growth oxygen plasma treatment of Zr-based Zr-Cu ternary or quaternary metallic glassy (MG) films containing minor additions of Al, Ti, and Si. It came out that the choice of the third and/or fourth element in the MG template, in conjunction with oxygen plasma conditions and treatment time, determine the crystal structure and the surface morphology of the ZrO2 films. The authors found that the oxidation of the Zr-Cu MG template resulted in mixed tetragonal-monoclinic ZrO2 film with rather rough surface, whereas in the case of Al additions smooth surfaces of pure tetragonal or mixed tetragonal-monoclinic ZrO2 films were grown after short and long treatment times, respectively. In addition, oxygen plasma treatment of MG templates containing Ti and/or Si minor additions resulted in mixed tetragonal-monoclinic ZrO2 films, the doping element and the treatment times adjusting besides the concentration of each phase also the surface morphologies, which can vary from cones, in the case of Ti addition, to nanosponge and completely rough structures in Si ternary and Si/Ti quaternary systems, respectively. These findings suggest a quick, amenable, and low cost method of two-step industrial scale processing for selective growth of tetragonal and/or monoclinic ZrO2 with specific surface morphology. (C) 2012 American Vacuum Society. [http://dx.doi.org/10.1116/1.4742258]
Περιγραφή
Λέξεις-κλειδιά
bulk metallic-glass, yttria-stabilized zirconia, oxidation behavior, optical-properties, amorphous-alloys, nanocrystals, deposition, surface, plasma, growth
Θεματική κατηγορία
Παραπομπή
Σύνδεσμος
<Go to ISI>://000308404900030
Γλώσσα
en
Εκδίδον τμήμα/τομέας
Όνομα επιβλέποντος
Εξεταστική επιτροπή
Γενική Περιγραφή / Σχόλια
Ίδρυμα και Σχολή/Τμήμα του υποβάλλοντος
Πανεπιστήμιο Ιωαννίνων. Σχολή Θετικών Επιστημών. Τμήμα Μηχανικών Επιστήμης Υλικών