Investigation of deep implanted fluorine channeling profiles in silicon using resonant NRA
Φόρτωση...
Ημερομηνία
Συγγραφείς
Kokkoris, M.
Perdikakis, G.
Vlastou, R.
Papadopoulos, C. T.
Aslanoglou, X. A.
Posselt, M.
Grotzschel, R.
Harissopulos, S.
Kossionides, S.
Τίτλος Εφημερίδας
Περιοδικό ISSN
Τίτλος τόμου
Εκδότης
Περίληψη
Τύπος
Είδος δημοσίευσης σε συνέδριο
Είδος περιοδικού
peer reviewed
Είδος εκπαιδευτικού υλικού
Όνομα συνεδρίου
Όνομα περιοδικού
Nuclear Instruments & Methods in Physics Research Section B-Beam Interactions with Materials and Atoms
Όνομα βιβλίου
Σειρά βιβλίου
Έκδοση βιβλίου
Συμπληρωματικός/δευτερεύων τίτλος
Περιγραφή
Si(100) and (111) crystals were irradiated in the random as well as in the channeling direction, using 5 MeV F-19(+) ions, to a maximum fluence of approximately 1 x 10(17) particles/cm(2). The occurring deep implanted profiles were subsequently investigated using the Resonant Nuclear Reaction Analysis technique in the energy range E-p = 950-1200 keV. The reaction F-19(p, alphay)O-16 reaction exhibits a strong resonant behavior in the above mentioned energy range, thus providing an excellent tool for the depth profiling of fluorine, yielding minimum detection limits of the order of a few ppm. The occurring profiles are analyzed with SRIM and c-TRIM codes and an attempt is made to explain the characteristics of the experimental spectra, as well as to compare with results already existing in literature. (C) 2003 Elsevier Science B.V. All rights reserved.
Περιγραφή
Λέξεις-κλειδιά
high-energy implantation, channeling, nuclear resonance, fluorine profiling, resonant nra, c-trim, nuclear-reactions, ion-implantation, defect production, heavy-ions, damage
Θεματική κατηγορία
Παραπομπή
Σύνδεσμος
<Go to ISI>://000182039000011
http://ac.els-cdn.com/S0168583X03004488/1-s2.0-S0168583X03004488-main.pdf?_tid=fced648e240081e086af3966e751d0ed&acdnat=1334134424_a8adaed3a13e6093e0944c2e733180b5
http://ac.els-cdn.com/S0168583X03004488/1-s2.0-S0168583X03004488-main.pdf?_tid=fced648e240081e086af3966e751d0ed&acdnat=1334134424_a8adaed3a13e6093e0944c2e733180b5
Γλώσσα
en
Εκδίδον τμήμα/τομέας
Όνομα επιβλέποντος
Εξεταστική επιτροπή
Γενική Περιγραφή / Σχόλια
Ίδρυμα και Σχολή/Τμήμα του υποβάλλοντος
Πανεπιστήμιο Ιωαννίνων. Σχολή Επιστημών και Τεχνολογιών. Τμήμα Βιολογικών Εφαρμογών και Τεχνολογιών