Fabrication of conductometric chemical sensors by photolithography of conductive polymer composites
Φόρτωση...
Ημερομηνία
Συγγραφείς
Andreadis, N.
Chatzandroulis, S.
Goustouridis, D.
Kosma, V.
Beltsios, K.
Raptis, I.
Τίτλος Εφημερίδας
Περιοδικό ISSN
Τίτλος τόμου
Εκδότης
Elsevier
Περίληψη
Τύπος
Είδος δημοσίευσης σε συνέδριο
Είδος περιοδικού
peer reviewed
Είδος εκπαιδευτικού υλικού
Όνομα συνεδρίου
Όνομα περιοδικού
Microelectronic Engineering
Όνομα βιβλίου
Σειρά βιβλίου
Έκδοση βιβλίου
Συμπληρωματικός/δευτερεύων τίτλος
Περιγραφή
A new approach based on photolithographic processes for the fabrication of conductive polymer chemical sensors is described. The process was successfully applied in polymer/carbon black composites of the negative tone EPR and PDMS, and allows for the exact positioning and patterning of the composite polymer over the electrodes. On the other hand, patterning of a positive tone composite (PMMA) proved unsuccessful for a wide range of exposure doses and developer schemes. Responses to the absorption of selected vapors with emphasis on the EPR/carbon black system are reported. (c) 2007 Elsevier B.V. All rights reserved.
Περιγραφή
Λέξεις-κλειδιά
chemical sensors, polymer deposition, conductive polymer composites, lithography, black
Θεματική κατηγορία
Παραπομπή
Σύνδεσμος
<Go to ISI>://000247182500122
http://ac.els-cdn.com/S0167931707001311/1-s2.0-S0167931707001311-main.pdf?_tid=f4f8510e77b3225edb33cf048d050aee&acdnat=1339662541_6f46dd9e933639a17b1b5d6b562f18b1
http://ac.els-cdn.com/S0167931707001311/1-s2.0-S0167931707001311-main.pdf?_tid=f4f8510e77b3225edb33cf048d050aee&acdnat=1339662541_6f46dd9e933639a17b1b5d6b562f18b1
Γλώσσα
en
Εκδίδον τμήμα/τομέας
Όνομα επιβλέποντος
Εξεταστική επιτροπή
Γενική Περιγραφή / Σχόλια
Ίδρυμα και Σχολή/Τμήμα του υποβάλλοντος
Πανεπιστήμιο Ιωαννίνων. Σχολή Θετικών Επιστημών. Τμήμα Μηχανικών Επιστήμης Υλικών