Surface and interface morphology and structure of amorphous carbon thin and multilayer films
Φόρτωση...
Ημερομηνία
Συγγραφείς
Patsalas, P.
Logothetidis, S.
Kelires, P. C.
Τίτλος Εφημερίδας
Περιοδικό ISSN
Τίτλος τόμου
Εκδότης
Elsevier
Περίληψη
Τύπος
Είδος δημοσίευσης σε συνέδριο
Είδος περιοδικού
peer reviewed
Είδος εκπαιδευτικού υλικού
Όνομα συνεδρίου
Όνομα περιοδικού
Diamond and Related Materials
Όνομα βιβλίου
Σειρά βιβλίου
Έκδοση βιβλίου
Συμπληρωματικός/δευτερεύων τίτλος
Περιγραφή
We review the implementation of X-ray reflection (reflectivity and scattering) techniques for the study of amorphous Carbon (a-C, a-C:H, ta-C) thin and multilayer films and in particular in the determination of the film density and surface and interface morphology, which are intrinsically significant for ultra-thin films. We present studies of various a-C and a-C:H films, which include in particular: i) the morphology of a-C/Si interface, ii) the surface morphology and density evolution during sputter growth of a-C, iii) the morphology of the sp(2) -rich a-C/sp(3)- rich a-C interfaces in multilayer a-C films, iv) the universal correlation between the film density and the refractive index of a-C and a-C:H films. We also compare and validate the experimental results with relative results from Monte-Carlo simulations within an empirical potential scheme. The computational results shed light on the atomistic mechanisms determining the structure and morphology of the a-C interfaces between individual sp(2)- and sp(3) -rich a-C layers and between a-C and Si substrates. (c) 2005 Elsevier B.V. All rights reserved.
Περιγραφή
Λέξεις-κλειδιά
amorphous carbon, surface characterization, interface structure, ion assisted deposition, diamond-like-carbon, x-ray-reflectivity, cross-sectional structure, atomic-force microscopy, deposition mechanism, hydrogenated carbon, molecular-dynamics, elastic properties, stress-relaxation, layered materials
Θεματική κατηγορία
Παραπομπή
Σύνδεσμος
<Go to ISI>://000230064000004
http://ac.els-cdn.com/S0925963505000026/1-s2.0-S0925963505000026-main.pdf?_tid=3cc545c63fbe5a31d4b914d6bbbbd7ea&acdnat=1339755917_2539f6206dec34d764e2fb451255f150
http://ac.els-cdn.com/S0925963505000026/1-s2.0-S0925963505000026-main.pdf?_tid=3cc545c63fbe5a31d4b914d6bbbbd7ea&acdnat=1339755917_2539f6206dec34d764e2fb451255f150
Γλώσσα
en
Εκδίδον τμήμα/τομέας
Όνομα επιβλέποντος
Εξεταστική επιτροπή
Γενική Περιγραφή / Σχόλια
Ίδρυμα και Σχολή/Τμήμα του υποβάλλοντος
Πανεπιστήμιο Ιωαννίνων. Σχολή Θετικών Επιστημών. Τμήμα Μηχανικών Επιστήμης Υλικών