Crystallization effects and diamond formation in amorphous carbon films under low energy ion beam irradiation
Φόρτωση...
Ημερομηνία
Συγγραφείς
Patsalas, P.
Logothetidis, S.
Τίτλος Εφημερίδας
Περιοδικό ISSN
Τίτλος τόμου
Εκδότης
Elsevier
Περίληψη
Τύπος
Είδος δημοσίευσης σε συνέδριο
Είδος περιοδικού
peer reviewed
Είδος εκπαιδευτικού υλικού
Όνομα συνεδρίου
Όνομα περιοδικού
Nuclear Instruments & Methods in Physics Research Section B-Beam Interactions with Materials and Atoms
Όνομα βιβλίου
Σειρά βιβλίου
Έκδοση βιβλίου
Συμπληρωματικός/δευτερεύων τίτλος
Περιγραφή
The crystallization effects occurring in various types of amorphous carbon (a-C) thin films with different structure and bonding induced by post-growth low energy (<1.5 keV) Ar+ ion beam irradiation are presented. Detailed X-ray diffraction (XRD) measurements were used to identify several allotropic forms of carbon such as graphite and diamond as well as SiC detected in a-C films after ion irradiation. The diamond and SiC nucleation occurs close to the a-C/Si interface, beyond the ion penetration depth suggesting a non-direct nucleation mechanism. The relative content, grain size. distribution and orientation of each particular crystalline phase in the films depend strongly on the microstructural characteristics of the as-grown films. We also consider the effects of ion energy and fluence and substrate material on the crystallization process in an effort to get a deeper insight of the fundamental mechanisms occurring during the interaction of various carbon materials with low energy ion beams. (C) 2001 Elsevier Science B.V. All rights reserved.
Περιγραφή
Λέξεις-κλειδιά
amorphous carbon, ion irradiation, x-ray diffraction, phase transformation, diamond, nucleation
Θεματική κατηγορία
Παραπομπή
Σύνδεσμος
<Go to ISI>://000169403700048
Γλώσσα
en
Εκδίδον τμήμα/τομέας
Όνομα επιβλέποντος
Εξεταστική επιτροπή
Γενική Περιγραφή / Σχόλια
Ίδρυμα και Σχολή/Τμήμα του υποβάλλοντος
Πανεπιστήμιο Ιωαννίνων. Σχολή Θετικών Επιστημών. Τμήμα Μηχανικών Επιστήμης Υλικών