Stability, enhancement of elastic properties and structure of multilayered amorphous carbon films
Φόρτωση...
Ημερομηνία
Συγγραφείς
Logothetidis, S.
Gioti, M.
Charitidis, C.
Patsalas, P.
Arvanitidis, J.
Stoemenos, J.
Τίτλος Εφημερίδας
Περιοδικό ISSN
Τίτλος τόμου
Εκδότης
Elsevier
Περίληψη
Τύπος
Είδος δημοσίευσης σε συνέδριο
Είδος περιοδικού
peer reviewed
Είδος εκπαιδευτικού υλικού
Όνομα συνεδρίου
Όνομα περιοδικού
Applied Surface Science
Όνομα βιβλίου
Σειρά βιβλίου
Έκδοση βιβλίου
Συμπληρωματικός/δευτερεύων τίτλος
Περιγραφή
The growth of sputtered amorphous carbon (a-C) films in layer structure with alternating (negative/positive) substrate bias voltage V(b), was applied to control their intrinsic stress level and stability. The main benefit of the process was the development of thick, stable, hard and rich in sp(3) sites films proving their usefulness for many practical applications. In order to investigate the structure and the mechanisms of film stability we performed in-situ Spectroscopic Ellipsometry, Stress, Nanoindentation, Raman and Transmission Electron Microscopy (TEM) measurements. The latter provides details about the layered structure of the films. A stress relief was found to occur in films depending on the sequence of layers and their modulation period. Despite the film stability an improvement in film hardness and elastic modulus was also achieved, whereas nanocrystalline carbon phases were detected and identified by Raman spectra. (C) 1999 Elsevier Science B.V. All rights reserved.
Περιγραφή
Λέξεις-κλειδιά
multilayered amorphous films, elastic properties, film stability, optical-properties, thin-films, diamond, stress
Θεματική κατηγορία
Παραπομπή
Σύνδεσμος
<Go to ISI>://000078576400047
Γλώσσα
en
Εκδίδον τμήμα/τομέας
Όνομα επιβλέποντος
Εξεταστική επιτροπή
Γενική Περιγραφή / Σχόλια
Ίδρυμα και Σχολή/Τμήμα του υποβάλλοντος
Πανεπιστήμιο Ιωαννίνων. Σχολή Θετικών Επιστημών. Τμήμα Μηχανικών Επιστήμης Υλικών