Polymer based chemical sensor array fabricated with conventional microelectronic processes
Φόρτωση...
Ημερομηνία
Συγγραφείς
Kitsara, M.
Goustouridis, D.
Valamontes, E.
Oikonomou, P.
Beltsios, K.
Raptis, I.
Τίτλος Εφημερίδας
Περιοδικό ISSN
Τίτλος τόμου
Εκδότης
Περίληψη
Τύπος
Είδος δημοσίευσης σε συνέδριο
Είδος περιοδικού
peer reviewed
Είδος εκπαιδευτικού υλικού
Όνομα συνεδρίου
Όνομα περιοδικού
Journal of Optoelectronics and Advanced Materials
Όνομα βιβλίου
Σειρά βιβλίου
Έκδοση βιβλίου
Συμπληρωματικός/δευτερεύων τίτλος
Περιγραφή
A polymer array fabricated on the same substrate with conventional microelectronic processes is introduced for gas sensing applications. The process is based on photolithographic processes and takes advantage of the balance between UV exposure dose, material tone and developers used. The sensing properties of the lithographically defined films in the array were characterized for various analytes through in situ monitoring of films swelling by white light reflectance spectroscopy. The sensing responses are post processed by Principal Component Analysis and the discrimination between analytes with similar and totally different analytes is presented.
Περιγραφή
Λέξεις-κλειδιά
chemical sensors, polymer deposition, photolithography, vapor sorption, polymer swelling, white-light interferometry, conducting polymer, molecular-weight, films, methacrylate), lithography, gas, novolac, resist, layers
Θεματική κατηγορία
Παραπομπή
Σύνδεσμος
<Go to ISI>://000279165400028
Γλώσσα
en
Εκδίδον τμήμα/τομέας
Όνομα επιβλέποντος
Εξεταστική επιτροπή
Γενική Περιγραφή / Σχόλια
Ίδρυμα και Σχολή/Τμήμα του υποβάλλοντος
Πανεπιστήμιο Ιωαννίνων. Σχολή Θετικών Επιστημών. Τμήμα Μηχανικών Επιστήμης Υλικών