Surface-activation processes and ion-solid interactions during the nucleation and growth of ultra-thin amorphous carbon films
Φόρτωση...
Ημερομηνία
Συγγραφείς
Patsalas, P.
Logothetidis, S.
Kennou, S.
Gravalidis, C.
Τίτλος Εφημερίδας
Περιοδικό ISSN
Τίτλος τόμου
Εκδότης
Elsevier
Περίληψη
Τύπος
Είδος δημοσίευσης σε συνέδριο
Είδος περιοδικού
peer reviewed
Είδος εκπαιδευτικού υλικού
Όνομα συνεδρίου
Όνομα περιοδικού
Thin Solid Films
Όνομα βιβλίου
Σειρά βιβλίου
Έκδοση βιβλίου
Συμπληρωματικός/δευτερεύων τίτλος
Περιγραφή
Amorphous carbon (a-C) films have been grown by processes using Ar+ or C+ ions. The films hybridization states were evaluated by Auger electron spectroscopy, X-ray photoelectron spectroscopy and X-ray reflectivity. It was found that the films grown using C+ (Ar+) exhibit a sp(2) (sp(3)) surface, while the deeper monolayers are sp(3) (mixed sp(3)-sp(2)) bonded. These results were compared with simulations of the ion-solid interactions and the results of a phenomenological model which takes into account the balance between the surface and bulk processes. We found two mechanisms of spa formation: on the surface and in the bulk of a-C. We conclude that at medium energy (> 100 eV) the surface effects are negligible (for both C+ and Ar+), while the surface processes dominate when low-energy (similar to40 eV) Ar+ ions are used. (C) 2002 Elsevier Science B.V. All rights reserved.
Περιγραφή
Λέξεις-κλειδιά
carbon, growth mechanism, surface composition, plasma processing and deposition, deposition mechanism, energy, model, xps
Θεματική κατηγορία
Παραπομπή
Σύνδεσμος
<Go to ISI>://000182500500043
Γλώσσα
en
Εκδίδον τμήμα/τομέας
Όνομα επιβλέποντος
Εξεταστική επιτροπή
Γενική Περιγραφή / Σχόλια
Ίδρυμα και Σχολή/Τμήμα του υποβάλλοντος
Πανεπιστήμιο Ιωαννίνων. Σχολή Θετικών Επιστημών. Τμήμα Μηχανικών Επιστήμης Υλικών