A lithographic polymer process sequence for chemical sensing arrays
Φόρτωση...
Ημερομηνία
Συγγραφείς
Kitsara, M.
Goustouridis, D.
Chatzandroulis, S.
Beltsios, K.
Raptis, L.
Τίτλος Εφημερίδας
Περιοδικό ISSN
Τίτλος τόμου
Εκδότης
Elsevier
Περίληψη
Τύπος
Είδος δημοσίευσης σε συνέδριο
Είδος περιοδικού
peer reviewed
Είδος εκπαιδευτικού υλικού
Όνομα συνεδρίου
Όνομα περιοδικού
Microelectronic Engineering
Όνομα βιβλίου
Σειρά βιβλίου
Έκδοση βιβλίου
Συμπληρωματικός/δευτερεύων τίτλος
Περιγραφή
A novel process for the deposition of four different patternable polymers to be used as sensing layers in chemical sensors, on the same substrate, using lithographic techniques is described. The process is combined with the engineering of the swelling properties of two of the polymeric materials upon exposure to DUV irradiation to expand the array to six or eight elements. The use of lithographic processes allows the deposition of polymeric films at the desired pattern and for a wide film thickness range. The sensing properties of the deposited and engineered films in the array were characterized by monitoring volume expansion upon exposure to volatile organic compounds. The process is particularly useful in the fabrication of chemical sensor arrays where polymers with varying sensitivities and selectivities are required. (c) 2006 Elsevier B.V. All rights reserved.
Περιγραφή
Λέξεις-κλειδιά
chemical sensors, polymer deposition, polymer swelling, polymer engineering, lithography, sensors
Θεματική κατηγορία
Παραπομπή
Σύνδεσμος
<Go to ISI>://000237581900135
http://ac.els-cdn.com/S016793170600236X/1-s2.0-S016793170600236X-main.pdf?_tid=5a5f4cb0b95e7469c0f8e85fe371a7e0&acdnat=1339662552_b4c7428a5665f365aa325d66b57214b2
http://ac.els-cdn.com/S016793170600236X/1-s2.0-S016793170600236X-main.pdf?_tid=5a5f4cb0b95e7469c0f8e85fe371a7e0&acdnat=1339662552_b4c7428a5665f365aa325d66b57214b2
Γλώσσα
en
Εκδίδον τμήμα/τομέας
Όνομα επιβλέποντος
Εξεταστική επιτροπή
Γενική Περιγραφή / Σχόλια
Ίδρυμα και Σχολή/Τμήμα του υποβάλλοντος
Πανεπιστήμιο Ιωαννίνων. Σχολή Θετικών Επιστημών. Τμήμα Μηχανικών Επιστήμης Υλικών