Nanocrystals manufacturing by ultra-low-energy ion-beam-synthesis for non-volatile memory applications
Φόρτωση...
Ημερομηνία
Συγγραφείς
Normand, P.
Kapetanakis, E.
Dimitrakis, P.
Skarlatos, D.
Beltsios, K.
Tsoukalas, D.
Bonafos, C.
Ben Assayag, G.
Cherkashin, N.
Claverie, A.
Τίτλος Εφημερίδας
Περιοδικό ISSN
Τίτλος τόμου
Εκδότης
Elsevier
Περίληψη
Τύπος
Είδος δημοσίευσης σε συνέδριο
Είδος περιοδικού
peer reviewed
Είδος εκπαιδευτικού υλικού
Όνομα συνεδρίου
Όνομα περιοδικού
Nuclear Instruments & Methods in Physics Research Section B-Beam Interactions with Materials and Atoms
Όνομα βιβλίου
Σειρά βιβλίου
Έκδοση βιβλίου
Συμπληρωματικός/δευτερεύων τίτλος
Περιγραφή
An overview of recent developments regarding the fabrication and structure of thin silicon dioxide films with embedded nanocrystals through ultra-low-energy ion-beam-synthesis (ULE-IBS) is presented. Advances in fabrication, increased understanding of structure formation processes and ways to control them allow for the fabrication of reproducible and attractive silicon-nanocrystal memory devices for a wide-range of memory applications as herein demonstrated in the case of low-voltage EEPROM-like applications. (C) 2003 Elsevier B.V. All rights reserved.
Περιγραφή
Λέξεις-κλειδιά
nanocrystals, ion beam synthesis, non-volatile memory, silicon implantation, si-rich sio2-films, thin sio2, semiconductor structure, electrical-properties, silicon nanocrystals, 2-d arrays, implantation, charge, oxide, devices
Θεματική κατηγορία
Παραπομπή
Σύνδεσμος
<Go to ISI>://000189222100038
http://ac.els-cdn.com/S0168583X03021517/1-s2.0-S0168583X03021517-main.pdf?_tid=a7c6b05c9c83fada9a0d2931c7220086&acdnat=1339662575_42b5add09aba45a244ce25db2c26a697
http://ac.els-cdn.com/S0168583X03021517/1-s2.0-S0168583X03021517-main.pdf?_tid=a7c6b05c9c83fada9a0d2931c7220086&acdnat=1339662575_42b5add09aba45a244ce25db2c26a697
Γλώσσα
en
Εκδίδον τμήμα/τομέας
Όνομα επιβλέποντος
Εξεταστική επιτροπή
Γενική Περιγραφή / Σχόλια
Ίδρυμα και Σχολή/Τμήμα του υποβάλλοντος
Πανεπιστήμιο Ιωαννίνων. Σχολή Θετικών Επιστημών. Τμήμα Μηχανικών Επιστήμης Υλικών