Thermophoresis of Solid Particles in Horizontal Chemical Vapor-Deposition Reactors
Φόρτωση...
Ημερομηνία
Συγγραφείς
Fotiadis, D. I.
Jensen, K. F.
Τίτλος Εφημερίδας
Περιοδικό ISSN
Τίτλος τόμου
Εκδότης
Elsevier
Περίληψη
Τύπος
Είδος δημοσίευσης σε συνέδριο
Είδος περιοδικού
peer reviewed
Είδος εκπαιδευτικού υλικού
Όνομα συνεδρίου
Όνομα περιοδικού
Journal of Crystal Growth
Όνομα βιβλίου
Σειρά βιβλίου
Έκδοση βιβλίου
Συμπληρωματικός/δευτερεύων τίτλος
Περιγραφή
To investigate the distortion of flow visualization data for chemical vapor deposition reactors due to thermophoretic transport of the tracer particles, the motion of solid particles is studied in a horizontal chemical vapor deposition reactor. Flow and temperature fields are determined using the fmite element method. The path line of each particle is obtained on a local element-by-element basis by accounting for thermophoretic, drag, and gravity forces on each particle. Fluid flow and temperature profiles combined with thermophoretic phenomena are investigated for the first time in a complex geometry with realistic boundary conditions. Results are presented in terms of the size of the particle-free zone above the susceptor and particle path lines and velocities. The effect of the major operating parameters (susceptor temperature, inlet flow rate, carrier gas, operating pressure) on the thermophoretic transport for particles of different sizes and materials is reported. The predicted motion of solid particles shows very good agreement with smoke flow visualization and laser Doppler anemometry measurements. Related issues of particle contamination and so-called stagnant layer models are also addressed.
Περιγραφή
Λέξεις-κλειδιά
Θεματική κατηγορία
Παραπομπή
Σύνδεσμος
<Go to ISI>://A1990DR85900007
Γλώσσα
en
Εκδίδον τμήμα/τομέας
Όνομα επιβλέποντος
Εξεταστική επιτροπή
Γενική Περιγραφή / Σχόλια
Ίδρυμα και Σχολή/Τμήμα του υποβάλλοντος
Πανεπιστήμιο Ιωαννίνων. Σχολή Θετικών Επιστημών. Τμήμα Μηχανικών Επιστήμης Υλικών